プラズマを用いた素材の表面改質技術

著者

• プラズマを媒体とする素材表面改質処理プロセス技術調査専門委員会 プラズマ オ バイタイ ト スル ソザイ ヒョウメン カイシツ ショリ プロセス ギジュツ チョウサ センモン イインカイ

書誌事項

プラズマを用いた素材の表面改質技術

プラズマを媒体とする素材表面改質処理プロセス技術調査専門委員会[編]

（電気学会技術報告, 第914号 (A部門)）

電気学会, 2003.2

タイトル読み

プラズマ オ モチイタ ソザイ ノ ヒョウメン カイシツ ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA72715246
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 68p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN10388845