プラズマを用いた素材の表面改質技術
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プラズマを用いた素材の表面改質技術
(電気学会技術報告, 第914号 (A部門))
電気学会, 2003.2
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プラズマ オ モチイタ ソザイ ノ ヒョウメン カイシツ ギジュツ
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