埋め込みデバイス層を有する高機能ヘテロエピタキシャル層の形成
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埋め込みデバイス層を有する高機能ヘテロエピタキシャル層の形成
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成13年度）
米津宏雄, 2002.3
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ウメコミ デバイス ソウ オ ユウスル コウキノウ ヘテロ エピタキシャル ソウ ノ ケイセイ
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注記
課題番号: 11450011