エピタキシャルアルミナを用いたヘテロエピタキシャル成長用基板とデバイス応用
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エピタキシャルアルミナを用いたヘテロエピタキシャル成長用基板とデバイス応用
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成15年度)
石田誠, 2004.5
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エピタキシャル アルミナ オ モチイタ ヘテロ エピタキシャル セイチョウヨウ キバン ト デバイス オウヨウ
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注記
研究課題番号: 13555093
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部