マイクロ球面超音波モータによる超精密・高速回転機構の開発

著者

• 遠山, 茂樹 トオヤマ, シゲキ

書誌事項

マイクロ球面超音波モータによる超精密・高速回転機構の開発

遠山茂樹研究代表者

遠山茂樹, 2003.3

タイトル別名

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成12年度〜平成14年度

タイトル読み

マイクロ キュウメン チョウオンパ モータ ニ ヨル チョウセイミツ コウソク カイテン キコウ ノ カイハツ

注記

[課題番号] : 12450065

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA72985783
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [小金井]
• ページ数/冊数: 124p
• 大きさ: 30cm