マイクロ球面超音波モータによる超精密・高速回転機構の開発
著者
書誌事項
マイクロ球面超音波モータによる超精密・高速回転機構の開発
遠山茂樹, 2003.3
- タイトル別名
-
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成12年度〜平成14年度
- タイトル読み
-
マイクロ キュウメン チョウオンパ モータ ニ ヨル チョウセイミツ コウソク カイテン キコウ ノ カイハツ
大学図書館所蔵 全1件
この図書・雑誌をさがす
注記
[課題番号] : 12450065