次世代半導体製造プロセスで必須の高真空対応形スーパークリーンロボットの試作研究

著者

• 金光, 陽一 カネミツ, ヨウイチ

書誌事項

次世代半導体製造プロセスで必須の高真空対応形スーパークリーンロボットの試作研究

研究代表者 金光陽一

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成16年度）

[九州大学], 2005.5

タイトル別名

平成14年度-平成16年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書

タイトル読み

ジセダイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス デ ヒッス ノ コウシンクウ タイオウケイ スーパークリーン ロボット ノ シサク ケンキュウ

注記

課題番号:14550218

• NII書誌ID(NCID): BA73059551
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401