代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出

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代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出

研究代表者 古屋謙治

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成15年度-平成16年度）

[九州大学], 2005.3

Other Title

平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

ダイタイ パーフル オロカーボン プラズマチュウ デ セイセイ スル ユウガイ ブッシツ ノ コウカンド ケンシュツ

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Note

課題番号: 15540476

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Details

  • NCID
    BA73066342
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    87p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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