Planar test structures for characterizing impurities in silicon

著者

• Buehler, M. G.

書誌事項

Planar test structures for characterizing impurities in silicon

M. G. Buehler ... [et al.]

（NBS special publication, 400-21 . Semiconductor measurement technology）

U.S. G.P.O., 1976

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• Planar test structures for characterizing impurities in silicon / M.G. Buehler ... [et al.].

  1976

  HathiTrust

  

• Planar test structures for characterizing impurities in silicon / M.G. Buehler ... [et al.]. (400-21)

  1976

  HathiTrust

  

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73257431
• LCCN: 75619390
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington
• ページ数/冊数: v, 25 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : QC100
  • LCC : TK7871.85
  • DC : 602/.1 s
  • DC : 620.1/93
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Testing -- Congresses
  • LCSH : Silicon -- Defects -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA0011083X