ARPA/NBS workshop IV. surface analysis for silicon devices

著者

• Lieberman, A. George

書誌事項

ARPA/NBS workshop IV. surface analysis for silicon devices

A. George Lieberman

（NBS special publication, 400-23 . Semiconductor measurement technology）

U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards, 1976

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• ARPA/NBS workshop IV : surface analysis for silicon devices / [edited by] A. George Lieberman.

  1976

  HathiTrust

  

• ARPA/NBS workshop IV : surface analysis for silicon devices / [edited by] A. George Lieberman. (400-23)

  1976

  HathiTrust

  

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73257726
• LCCN: 76608043
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington, D.C.
• ページ数/冊数: vii, 239 p.
• 大きさ: 27 cm
• 分類:
  • LCC : QC100
  • LCC : TK7871.85
  • DC : 602/.1 s
  • DC : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Testing -- Congresses
  • LCSH : Silicon -- Testing -- Congresses
  • LCSH : Surfaces (Technology) -- Analysis -- Congresses
  • LCSH : Spectrum analysis -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA0011083X