大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

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大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1991.3

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平成元年度・2年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : 課題番号 01460076

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ダイデンリュウ エキタイ キンゾク イオン ビーム ニヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ カイメン セイギョ ギジュツ ノ カイハツ

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京都大学工学部電子工学教室

Details

  • NCID
    BA73356411
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    vi, 99p
  • Size
    26cm
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