大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発
著者
書誌事項
大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発
[石川順三], 1991.3
- タイトル別名
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平成元年度・2年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : 課題番号 01460076
- タイトル読み
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ダイデンリュウ エキタイ キンゾク イオン ビーム ニヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ カイメン セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
京都大学工学部電子工学教室