大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

著者

• 石川, 順三 イシカワ, ジュンゾウ
• 京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ

書誌事項

大電流液体金属イオンビームによる蒸着膜・結晶性・界面制御技術の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1991.3

タイトル別名

平成元年度・2年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : 課題番号 01460076

タイトル読み

ダイデンリュウ エキタイ キンゾク イオン ビーム ニヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ カイメン セイギョ ギジュツ ノ カイハツ

注記

京都大学工学部電子工学教室

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73356411
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: vi, 99p
• 大きさ: 26cm