Silicide technology for integrated circuits

著者

• Chen, L. J.

書誌事項

Silicide technology for integrated circuits

edited by Lih J. Chen

（Processing series, no. 5）

Institution of Electrical Engineers, c2004

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73380937
• ISBN:
  • 0863413528
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: London
• ページ数/冊数: xviii, 279 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.15.S55
  • DC22 : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Silicides
  • LCSH : Integrated circuits -- Materials
• 親書誌ID:
  • BA71187561