Nano- and micro-electromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering

著者

• Lyshevski, Sergey Edward

書誌事項

Nano- and micro-electromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering

Sergey Edward Lyshevski

（Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series）

CRC Press, c2005

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73468186
• ISBN:
  • 0849328381
• LCCN: 2004057931
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 722 p.
• 大きさ: 27 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Nanotechnology
• 親書誌ID:
  • BA5182498X