SOI(Silicon on insulator)技術

著者

• 特許庁 トッキョチョウ

書誌事項

SOI(Silicon on insulator)技術

特許庁編

（特許出願技術動向調査, 平成14年度 ; 11）

発明協会, 2003.12

タイトル読み

SOI Silicon on insulator ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73488208
• ISBN:
  • 4827107491
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 266p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 507.23
  • NDLC : M351
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 特許 -- 半導体
  • NDLSH : シリコン(半導体)
• 親書誌ID:
  • BA61370743