光MOCVD法による機能性セラミック薄膜の作製と光機能素子への応用
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光MOCVD法による機能性セラミック薄膜の作製と光機能素子への応用
[塩嵜忠], 1992.3
- タイトル別名
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平成3年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 01460141
光MOCVD法による機能性セラミック薄膜の作製と光機能素子への応用
- タイトル読み
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ヒカリ MOCVDホウ ニヨル キノウセイ セラミック ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ キノウ ソシ エノ オウヨウ
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京都大学工学部