光MOCVD法による機能性セラミック薄膜の作製と光機能素子への応用

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光MOCVD法による機能性セラミック薄膜の作製と光機能素子への応用

塩嵜忠研究代表

[塩嵜忠], 1992.3

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平成3年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 01460141

光MOCVD法による機能性セラミック薄膜の作製と光機能素子への応用

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ヒカリ MOCVDホウ ニヨル キノウセイ セラミック ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ キノウ ソシ エノ オウヨウ

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京都大学工学部

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  • NCID
    BA7354903X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    45p
  • Size
    26cm
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