エアーブリジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長

著者

• 西野, 茂弘 ニシノ, シゲヒロ

書誌事項

エアーブリジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長

研究代表者西野茂弘

[西野茂弘], 2005.3

タイトル別名

平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360010)

タイトル読み

エアーブリジ コウゾウ オ モチイタ フリースタンデイング 3C-SiC ノ ケッショウ セイチョウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73614255
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 89p
• 大きさ: 30cm