大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

Author(s)

• 石川, 順三 イシカワ, ジュンゾウ
• 京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ

Bibliographic Information

大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1993.3

Other Title

平成3年度・4年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : 課題番号 03555002

Title Transcription

ダイメンセキ コウソク ヒョウメン ショリ ノ タメ ノ ダイデンリュウ エキタイ キンゾク イオンゲン ノ カイハツ

Note

京都大学工学部電子工学教室

• NCID: BA73638355
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [京都]
• Pages/Volumes: iv, 105p
• Size: 26cm