大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

Author(s)

Bibliographic Information

大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1993.3

Other Title

平成3年度・4年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : 課題番号 03555002

Title Transcription

ダイメンセキ コウソク ヒョウメン ショリ ノ タメ ノ ダイデンリュウ エキタイ キンゾク イオンゲン ノ カイハツ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

京都大学工学部電子工学教室

Details

  • NCID
    BA73638355
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    iv, 105p
  • Size
    26cm
Page Top