ナノインプリントの開発と応用

著者

    • 松井, 真二 マツイ,シンジ
    • 古室, 昌徳 コムロ,マサノリ

書誌事項

ナノインプリントの開発と応用

松井真二, 古室昌徳監修

シーエムシー出版, 2005.8

タイトル別名

Development of nanoimprint and its application

タイトル読み

ナノインプリント ノ カイハツ ト オウヨウ

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注記

カバーに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」の表記あり

内容説明・目次

目次

  • 第1章 総説(転写方式;周辺技術 ほか)
  • 第2章 転写方式(熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ;室温ナノインプリント技術 ほか)
  • 第3章 装置と関連部材(ナノインプリント装置;モールド ほか)
  • 第4章 デバイス応用(電子・磁気・光学デバイス;光デバイス ほか)

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA73745264
  • ISBN
    • 4882315254
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    iv, 213p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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