ナノインプリントの開発と応用

著者

• 松井, 真二 マツイ,シンジ
• 古室, 昌徳 コムロ,マサノリ

書誌事項

ナノインプリントの開発と応用

松井真二, 古室昌徳監修

シーエムシー出版, 2005.8

タイトル別名

Development of nanoimprint and its application

タイトル読み

ナノインプリント ノ カイハツ ト オウヨウ

注記

カバーに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」の表記あり

内容説明・目次

目次

• 第１章　総説（転写方式；周辺技術　ほか）
• 第２章　転写方式（熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ；室温ナノインプリント技術　ほか）
• 第３章　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド　ほか）
• 第４章　デバイス応用（電子・磁気・光学デバイス；光デバイス　ほか）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA73745264
• ISBN:
  • 4882315254
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: iv, 213p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
• 件名:
  • BSH : 電子部品
  • BSH : ナノテクノロジー