積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

Author(s)

    • 菊田, 和重 キクタ, カズシゲ

Bibliographic Information

積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

研究代表者 菊田和重

[北海道大学大学院工学研究科], 2005.3

Other Title

平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

セキソウ ダイコウケイ ウエハ キンイツ ハクマク ケイセイ ノ タメ ノ ホウシャネツ ブッセイ ケイソク ト ガス リュウドウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

課題番号: 15560164

Details

  • NCID
    BA73808692
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [札幌]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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