単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
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書誌事項
単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
[出版者不明], 2005.4
- タイトル別名
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平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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タンイツ デンシ トラップ チョクシ ギジュツ ノ カイハツ ト ソレ オ モチイタ ゴクウス ゲート ゼツエンマク ノ レッカ キコウ ノ カイメイ
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注記
課題番号:13305005
研究分担者: 財満鎭明, 酒井朗 ほか
平成13年度〜平成15年度の研究代表者: 安田幸夫
