光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用
著者
書誌事項
光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用
[塩嵜忠], 1994.3
- タイトル別名
-
平成5年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 04452176
- タイトル読み
-
ヒカリ レイキ CVDホウ ニヨル PZTケイ キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト メモリ デバイス エノ オウヨウ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
京都大学工学部