ワイドギャップ半導体SiCの高純度単結晶成長とパワーデバイスへの応用
著者
書誌事項
ワイドギャップ半導体SiCの高純度単結晶成長とパワーデバイスへの応用
[松波弘之], 1994.3
- タイトル別名
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平成4〜5年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : 課題番号 04555068
- タイトル読み
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ワイド ギャップ ハンドウタイ SiC ノ コウジュンド タンケッショウ セイチョウ ト パワー デバイス エノ オウヨウ
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京都大学工学部