負イオンビームによるチャージアップ・フリー・イオン注入技術の開発

Author(s)

• 石川, 順三 イシカワ, ジュンゾウ
• 京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ

Bibliographic Information

負イオンビームによるチャージアップ・フリー・イオン注入技術の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1995.3

Other Title

平成5年度・6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555008

Title Transcription

フイオン ビーム ニヨル チャージアップ フリー イオン チュウニュウ ギジュツ ノ カイハツ

Note

京都大学工学部電子工学教室

• NCID: BA73966536
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [京都]
• Pages/Volumes: 99p
• Size: 30cm