マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

著者

• 佐藤, 一雄 サトウ, カズオ

書誌事項

マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

佐藤一雄 [ほか著]

[出版者不明], 2005.3

タイトル別名

平成14年度〜平成16年度日本学術振興会科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

マイクロ・メゾ リョウイキ オ トウゴウ シタ ケッショウ イホウセイ エッチング メカニズム ノ ケンキュウ

注記

課題番号:14205016

研究分担者: 式田光宏, 安藤妙子

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73966875
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 182p
• 大きさ: 30cm