基板回転型CVD装置開発の基礎研究

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基板回転型CVD装置開発の基礎研究

荻野文丸研究代表

[荻野文丸], 1995.3

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平成6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 研究課題番号 05453094

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キバン カイテンガタ CVD ソウチ カイハツ ノ キソ ケンキュウ

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京都大学工学部

Details

  • NCID
    BA73990916
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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