電気化学気相成長法によるジルコニア薄膜の形成と酸素センサーへの応用
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書誌事項
電気化学気相成長法によるジルコニア薄膜の形成と酸素センサーへの応用
[小久見善八], 1995.3
- タイトル別名
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平成6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書 : 課題番号 05453119
- タイトル読み
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デンキ カガク キソウ セイチョウホウ ニヨル ジルコニア ハクマク ノ ケイセイ ト サンソ センサー エノ オウヨウ
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京都大学工学部