書誌事項

DCアークプラズマ中反応活性種in-situ可視化への試み

冨井洋一研究代表

[冨井洋一], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : 課題番号 05453089

DCアークプラズマ中反応活性種in-situ可視化への試み

タイトル読み

DC アーク プラズマチュウ ハンノウ カッセイシュ in-situ カシカ エノ ココロミ

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注記

研究成果報告書概要の研究課題: DCアークプラズマ中反応活性種分布のin-situ可視化への試み

京都大学工学部

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA74100333
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [京都]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
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