DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質
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書誌事項
DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質
[冨井洋一], 1995.3
- タイトル別名
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平成6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555189
- タイトル読み
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DC アーク RF マグネトロン プラズマ オ リヨウ シタ キノウセイ ザイリョウ ノ セイゾウ オヨビ ヒョウメン カイシツ
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注記
京都大学工学部