DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

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DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

冨井洋一研究代表

[冨井洋一], 1995.3

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平成6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555189

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DC アーク RF マグネトロン プラズマ オ リヨウ シタ キノウセイ ザイリョウ ノ セイゾウ オヨビ ヒョウメン カイシツ

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京都大学工学部

Details

  • NCID
    BA74100683
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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