DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

著者

• 冨井, 洋一 トミイ, ヨウイチ
• 京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ

書誌事項

DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

冨井洋一研究代表

[冨井洋一], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555189

タイトル読み

DC アーク RF マグネトロン プラズマ オ リヨウ シタ キノウセイ ザイリョウ ノ セイゾウ オヨビ ヒョウメン カイシツ

注記

京都大学工学部

• NII書誌ID(NCID): BA74100683
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm