次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
著者
書誌事項
次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
[山田公], 1995.3
- タイトル別名
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平成4〜6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 04555003
- タイトル読み
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ジセダイ コウシュウセキ カイロ LSI ヨウ クラスター イオン チュウニュウ ソウチ ノ シサク ケンキュウ
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注記
京都大学工学部附属イオン工学実験施設
