次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究

著者

• 山田, 公 ヤマダ, イサオ
• 京都大学工学部附属イオン工学実験施設 キョウト ダイガク コウガクブ フゾク イオン コウガク ジッケン シセツ

書誌事項

次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究

山田公研究代表

[山田公], 1995.3

タイトル別名

平成4〜6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 04555003

タイトル読み

ジセダイ コウシュウセキ カイロ LSI ヨウ クラスター イオン チュウニュウ ソウチ ノ シサク ケンキュウ

注記

京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• NII書誌ID(NCID): BA74116060
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 131p
• 大きさ: 30cm