Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

著者

• 社本, 英二 シャモト, エイジ

書誌事項

Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

社本英二 [ほか著]

[出版者不明], 2005.4

タイトル別名

平成15-16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

Walking Drive オ リヨウ シタ コウシンクウ タイオウ チョウセイミツ アライメント ソウチ ノ カイハツ

注記

課題番号:15360069

研究分担者: 鈴木教和

片面印刷

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74126199
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: v, 88枚
• 大きさ: 30cm