薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性
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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性
（Basic selection）
リアライズ・アドバンストテクノロジ, 1992.3
- タイトル別名
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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー内部応力密着性
- タイトル読み
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ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ : トライボロジー ナイブ オウリョク ミッチャクセイ
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文献: 節末