薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

著者

• 金原, 粲 キンバラ, アキラ
• 河野, 彰夫 コウノ, アキオ
• 生地, 文也 ショウジ, フミヤ
• 馬場, 茂 ババ, シゲル

書誌事項

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

金原粲 [ほか編]

（Basic selection）

リアライズ・アドバンストテクノロジ, 1992.3

タイトル別名

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー内部応力密着性

タイトル読み

ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ : トライボロジー ナイブ オウリョク ミッチャクセイ

注記

編集委員長: 金原粲

編集委員: 河野彰夫, 生地文也, 馬場茂

文献: 節末

• NII書誌ID(NCID): BA74346672
• ISBN:
  • 4898080618
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 610p, 図版[2]p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BA7433021X