薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

Author(s)

• 金原, 粲 キンバラ, アキラ
• 河野, 彰夫 コウノ, アキオ
• 生地, 文也 ショウジ, フミヤ
• 馬場, 茂 ババ, シゲル

Bibliographic Information

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

金原粲 [ほか編]

（Basic selection）

リアライズ・アドバンストテクノロジ, 1992.3

Other Title

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー内部応力密着性

Title Transcription

ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ : トライボロジー ナイブ オウリョク ミッチャクセイ

Note

編集委員長: 金原粲

編集委員: 河野彰夫, 生地文也, 馬場茂

文献: 節末

• NCID: BA74346672
• ISBN:
  • 4898080618
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 610p, 図版[2]p
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜
• Parent Bibliography ID:
  • BA7433021X