フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

著者

• 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ

書誌事項

フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

豊田浩孝 [ほか著]

[出版者不明], 2005.3

タイトル別名

平成15〜16年度科学研究費補助金(基盤研究C(2))研究成果報告書

タイトル読み

フロロカーボン ブンシ ノ ヒョウメン ハンノウ カテイ ト シンキ エッチング プロセス ノ キソ ケンキュウ

注記

課題番号: 15540474

研究分担者: 菅井秀朗, 石島達夫

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74471696
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 37p
• 大きさ: 30cm