フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

Author(s)

• 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ

Bibliographic Information

フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

豊田浩孝 [ほか著]

[出版者不明], 2005.3

Other Title

平成15〜16年度科学研究費補助金(基盤研究C(2))研究成果報告書

Title Transcription

フロロカーボン ブンシ ノ ヒョウメン ハンノウ カテイ ト シンキ エッチング プロセス ノ キソ ケンキュウ

Note

課題番号: 15540474

研究分担者: 菅井秀朗, 石島達夫

• NCID: BA74471696
• Country Code: xx
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 37p
• Size: 30cm