シリコンクラスターの表面反応と薄膜成長過程の分子シミュレーション

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シリコンクラスターの表面反応と薄膜成長過程の分子シミュレーション

研究代表者 丸山茂夫

丸山茂夫, 2003.5

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平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

シリコンクラスター ノ ヒョウメン ハンノウ ト ハクマク セイチョウ カテイ ノ ブンシ シミュレーション

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Note

平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

研究分担者: 松本洋一郎, 井上満

課題番号: 12450082

Details

  • NCID
    BA74472746
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    95p
  • Size
    30cm
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