陽電子ビームによるイオンビーム照射下欠陥解析法の開発

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陽電子ビームによるイオンビーム照射下欠陥解析法の開発

研究代表者 伊藤泰男

伊藤泰男, 2003.3

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平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

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ヨウデンシ ビーム ニ ヨル イオン ビーム ショウシャカ ケッカン カイセキホウ ノ カイハツ

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平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

研究協力者: 柴田裕実, 岩井岳夫

課題番号: 13480141

Details

  • NCID
    BA74504059
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    75p
  • Size
    30cm
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