陽電子ビームによるイオンビーム照射下欠陥解析法の開発
著者
書誌事項
陽電子ビームによるイオンビーム照射下欠陥解析法の開発
伊藤泰男, 2003.3
- タイトル別名
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平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書
- タイトル読み
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ヨウデンシ ビーム ニ ヨル イオン ビーム ショウシャカ ケッカン カイセキホウ ノ カイハツ
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注記
平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書
研究協力者: 柴田裕実, 岩井岳夫
課題番号: 13480141