F[2]レーザーリソグラフィー用コヒーレントVUV光源の開発

著者

• 渡部, 俊太郎 ワタナベ, シュンタロウ
• 関川, 太郎 セキカワ, タロウ
• 菅沼, 崇

書誌事項

F[2]レーザーリソグラフィー用コヒーレントVUV光源の開発

研究代表者 渡部俊太郎

渡部俊太郎, 2003.5

タイトル別名

平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

F[2] レーザー リソグラフィー ヨウ コヒーレント VUV コウゲン ノ カイハツ

注記

平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

研究分担者: 関川太郎, 菅沼崇

課題番号: 13555010

[2]は下つき文字

• NII書誌ID(NCID): BA74507603
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 52p
• 大きさ: 30cm