メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長
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メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13〜15年度）
広島大学ナノデバイス・システム研究センター, 2005.3
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メタルゲート コウユウデンリツ キンゾク サンカブツ ゲート ゼツエンマク スタック コウゾウ ノ シンクウ イッカン ゲンシソウ セイチョウ
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課題番号: 13450129