超クリーン・真空環境用高出力静電浮上リニアモータ

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超クリーン・真空環境用高出力静電浮上リニアモータ

研究代表者 樋口俊郎

樋口俊郎, 2003.3

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平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

Title Transcription

チョウクリーン シンクウ カンキョウヨウ コウシュツリョク セイデン フジョウ リニア モータ

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Note

平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究分担者: 山本晃生, 清原正勝

課題番号: 12355011

Details

  • NCID
    BA74521397
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    183p
  • Size
    30cm
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