超クリーン・真空環境用高出力静電浮上リニアモータ
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書誌事項
超クリーン・真空環境用高出力静電浮上リニアモータ
樋口俊郎, 2003.3
- タイトル別名
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平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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チョウクリーン シンクウ カンキョウヨウ コウシュツリョク セイデン フジョウ リニア モータ
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注記
平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
研究分担者: 山本晃生, 清原正勝
課題番号: 12355011