Principles and applications of NanoMEMS physics

著者

• Santos, Héctor J. de los

書誌事項

Principles and applications of NanoMEMS physics

by Héctor J. De Los Santos

（Microsystems / series editor Stephen D. Senturia）

Springer, c2005

• : hb

注記

Includes bibliographical references (p. [241]-252) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74600212
• ISBN:
  • 1402032382
• LCCN: 2005015829
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Dordrecht
• ページ数/冊数: xv, 254 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : QC688
  • DC22 : 537.5
• 件名:
  • LCSH : Quantum electronics
  • LCSH : Wave-particle duality
  • LCSH : Nanotechnology
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA39071521