Principles of lithography

著者

• Levinson, Harry J.

書誌事項

Principles of lithography

Harry J. Levinson

SPIE Press, c2005

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74611911
• ISBN:
  • 0819456608
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, WA
• ページ数/冊数: xii, 423 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Microlithography