変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化

著者

• 霜垣, 幸浩 シモガキ, ユキヒロ
• 濱村, 浩孝
• 大場, 隆之

書誌事項

変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化

研究代表者 霜垣幸浩

霜垣幸浩, 2003.3

タイトル別名

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ヘンチョウ ソウサ オ モチイタ ヒテイジョウ ジョウタイ ノ セッキョク リヨウ ニ ヨル ULSI セキソウ ハイセン サクセイ プロセス ノ コウドカ

注記

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

研究分担者: 濱村浩孝, 大場隆之

課題番号: 11450269

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74618885
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm